Thiết bị micromachining (Plasma tỷ lệ bóng đá nhà cái) TEP-01X/XD

Tổng quan

TEP-01X là một tỷ lệ bóng đá nhà cái bị khắc huyết tương duy nhất chuyên về các vật liệu bán dẫn "không" khác ngoài silicon, chẳng hạn như vật liệu nhựa như acrylic, các vật liệu cao cấp của SIO2 tỷ lệ khung hình
Có sẵn ở mức giá thấp cho nhiều loại vật liệu cơ chất, trước đây rất khó để khắc! Lý tưởng để tạo mẫu cho một loạt các tỷ lệ bóng đá nhà cái bị MEMS, bao gồm xử lý chip vi lỏng nhựa, vật liệu nhựa, vật liệu áp điện và vi mô tỷ lệ khung hình cao của vật liệu khó xử lý

Sử dụng máy bơm công suất lớn cho khối lượng buồng chân không cho phép ống xả tốc độ cao của các sản phẩm phản ứng tỷ lệ bóng đá nhà cái
4946_4993
đạt được tốc độ tỷ lệ bóng đá nhà cái cao và bề mặt mịn cao
Không có khí clo được sử dụng
Các vật tỷ lệ bóng đá nhà cái áp dụng khác nhau (vật tỷ lệ bóng đá nhà cái nhựa khác nhau, vật tỷ lệ bóng đá nhà cái áp điện, vật tỷ lệ bóng đá nhà cái khó xử lý)

Xử lý cấu trúc vi mô trên các chất nền nhựa khác nhau, chất liệu vật liệu áp điện, nguyên mẫu tỷ lệ bóng đá nhà cái bị
Các yếu tố quang học, bộ cộng hưởng Quartz, Xử lý tỷ lệ bóng đá nhà cái bị SAW, v.v.
Chip Micro Kênh và tỷ lệ bóng đá nhà cái bị microtas
Gia công các vật tỷ lệ bóng đá nhà cái khó xử lý như cấu trúc trụ cột tỷ lệ khung hình cao
Sửa đổi bề mặt và bề mặt của chất nền, v.v.

Vật tỷ lệ bóng đá nhà cái nhựa khác nhau
acrylic, polycarbonate, nhựa cycloolefin, nhựa flo, v.v.
vật tỷ lệ bóng đá nhà cái áp điện
SiO2 (Quartz), Linbo3 (lithium niobate), v.v.
Khó xử lý vật tỷ lệ bóng đá nhà cái
ti (titan), v.v.

Tùy chỉnh theo yêu cầu và ngân sách của bạn.

Phương pháp tạo plasma	Loại từ tính (Loại hỗ trợ từ trường, Phương pháp khớp nối điện dung)
Kích thước bên trong buồng	φ150mm x h120mm (nắp trên: làm bằng thạch anh)
Kích thước bảng có thể xử lý	tối đa φ78mm (3 inch)
Làm mát giai đoạn	Phương pháp lưu thông chất lạnh cách điện
Bơm xả chính	Bơm phân tử Turbo (350L/giây)
Nguồn điện tần số cao	13,56MHz / max.150W (Phương pháp kết hợp tự động)
Kiểm soát giới thiệu khí is	Bộ điều khiển lưu lượng khối (3 dòng tiêu chuẩn)
Máy đo chân không	Máy đo chân không Pirani, Đồng hồ đo đa ion, áp kế điện dung
Phương pháp vận hành	Điều khiển PLC tự động bằng cách sử dụng đầu vào bảng cảm ứng (Hoạt động thủ công bằng cách sử dụng một số hoạt động cảm ứng và tay cầm)
Kích thước bên ngoài	tỷ lệ bóng đá nhà cái bị chính đơn vị: 615W x 610D x 1150h Đơn vị điều khiển: 570W x 600D x 1600H (không bao gồm các phần nhô ra như tay cầm)
Trọng lượng	Cơ quan tỷ lệ bóng đá nhà cái bị: 100kg trở xuống Đơn vị điều khiển: 200kg trở xuống

Tùy chọn	Các dòng khí bổ sung (tối đa 6 dòng) Bơm xoay dầu tương thích hóa học/bơm khô Đơn vị làm lạnh (để làm mát trong chất làm lạnh)

*Chúng tôi cũng sẽ chấp nhận bất kỳ câu hỏi nào khác.

nguồn cung cấp	AC 220V ± 10% 3φ 10a loại D Ground AC 110V ± 10% 1φ 30A Loại D Mặt đất
Air	Áp suất cung: 0,5MPa trở lên
gas	Áp lực cung cấp khí/khí thải quá trình: 0,1MPa trở lên
ống xả	cho máy bơm khí thải phụ trợ

*Chúng tôi sẽ trả lời bất kỳ câu hỏi nào khác.

*Xin lưu ý rằng thông số kỹ thuật, kích thước, v.v. có thể được thay đổi mà không cần thông báo trước.