kèo nhà cái hôm nay không (tương thích với FAB tối thiểu)
Trang chủnhà cái fun88 | Tateyama Machine Co., Ltdkèo nhà cái phát triển sản phẩm | Tateyama Machinekèo nhà cái hôm nay không (tương thích với FAB tối thiểu)
Chúng tôi làTổ chức khuyến mãi FAB tối thiểu, Hiệp hội hợp nhất tổng hợp, tôi tham gia vào việc phát triển và quảng bá các FAB tối thiểu.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết các đơn đặt hàng liên quan đến hệ thống buồng phía trước của Wafer Wafer (Plad chân không).
fab tối thiểu
fab tối thiểu
Một hệ thống sản xuất chất bán dẫn quy mô nhỏ đa sản phẩm mang tính cách mạng với mục đích hình thành nhà máy sản xuất chất bán dẫn ở quy mô rất nhỏ
Một hệ thống sản xuất chất bán dẫn quy mô nhỏ đa sản phẩm mang tính cách mạng với mục đích hình thành nhà máy sản xuất chất bán dẫn ở quy mô rất nhỏ
plad (kết nối kín khí hạt)
Hệ thống trước được làm sạch cục bộ cho phép vận chuyển wafer trong khi chặn hoàn toàn các hạt mịn và các phân tử khí trong vận chuyển wafer giữa thùng chứa và bên trong của thiết bị xử lý
tính năng
- 5138_5203
- Thiết kế nhỏ gọn với tiền đình tích hợp, robot vận chuyển wafer, bơm chân không, máy đo chân không và bộ điều khiển trong không gian W267.5 x D114 x H378 (mm)
- Bơm phân tử thuốc tích hợp, cho phép buồng phía trước được sơ tán đến chân không cao (phạm vi 10E-3PA)
- Có thể thay thế bên trong tàu kèo nhà cái hôm nay bằng áp suất chân không
- Lặp lại độ chính xác định vị: Vận chuyển chính xác cao từ 0,1mm trở xuống là có thể
Đặc điểm kỹ thuật
- Robot vận chuyển wafer
Độ chính xác định vị lặp lại cao
・ Dạy học dễ dàng - Kẹp tự động Tàu con thoi được trang bị
- Bảng điều khiển tích hợp
- Chức năng phát hiện wafer có độ chính xác cao
Phát hiện sai lệch wafer có độ chính xác cao bằng phương pháp phản xạ
・ kèo nhà cái hôm nay các tấm trong suốt - Cơ chế thay thế áp suất/máy bay tối thiểu
- được chứng nhận sản phẩm tối thiểu
